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德國(guó)巴魯夫BALLUFF傾斜傳感器描述：用于光輻射的光源、具有用于使得由光源產(chǎn)生的光輻射通過的光學(xué)有效圖案的圖案載體、沿著輻射傳播方向設(shè)在該圖案載體下游的傾斜敏感單元、以及用于由光源產(chǎn)生的輻射入射且穿過所述圖案載體和傾斜敏感單元的透射區(qū)域，其中，所述光源為圖案載體的形式。
本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于與現(xiàn)有傾斜計(jì)相比至少減少了一個(gè)組成元件，這使得可以減少制造成本并允許縮短設(shè)計(jì)。另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是在光束撞擊圖案之前省略了光束的校準(zhǔn)。
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